压力差的维持依靠新风量，这个新风量要能补偿在这一压力差下从缝隙漏泄掉的风量。所以压力差的物理意义就是漏泄（或渗透）风量通过洁净室的各种缝隙时的阻力。对于乱流洁净室由于主要靠空气的稀释作用来减轻室内污染的程度，所以主要用换气次数这一概念，而不直接用速度的概念，不过对室内气流速度也有如下要求:1.送风口出口气流速度不宜太大，和单纯空调房间相比，要求速度衰减更快，扩散角度更大。2.吹过水平面的气流速度（例如侧送时回流速度）不宜太大，以免吹起表面微粒重返气流，而造成再污染，这一速度一般不宜大干0.2m/s。






洁净室的温湿度主要是根据客户的加工工艺要求来确定，在满足加工工艺的条件下，应该考虑人的舒适感。随着空气洁净度要求的提高，工艺对温湿度的要求也越来越高，必须达到一定的温湿度等级。例如在大规模集成电路生产的光刻曝光工艺中，作为掩膜板材料的玻璃与硅片的热膨胀系数的差要求越来越小。直径100um的硅片，蚌埠无尘电子厂房净化，温度上升1度，就引起了0.24um线性膨胀，所以必须有±0.1度的恒温，同时要求湿度值一般较低，因为人出汗以后，对产品将有污染，特别是怕钠的半导体车间，这种车间不宜超过25度。

净化车间空气洁净度检测内容

净化车间的总供风量、总回风量、新风量和排风量；布置净化车间的压力值；层流清洗车间装修段的风速和气流方向；清洁工作区域的清洁度；室内温度、湿度及其控制能力调节试验；净化车间装修中的噪声。

三、净化车间空气洁净度检测方法

光散射颗粒计数法适用于对粒径大于或等于0.5微米的尘埃颗粒进行计数。计算粒径大于或等于5微米的灰尘颗粒。也可以使用薄膜显微镜计数法。光散射粒子计数法；

1、光散射粒子计数器的采样量为100级：每次采样量大于等于1升。级别1000-级别10000：每个取样量大于或等于0.3升。级别100000：每个取样量大于或等于0.1升。对于100级，应使用大型流量粒子计数器进行测试。如果条件不满足，可以使用每次取样量不小于1升的颗粒计数器。

2、测量点的布局

(1)测试应在清洁的工作区域进行。当生产过程没有特殊要求时，取样高度应离地面1米。

(2)层流测量点的总数不得少于20个，测量点之间的间距为0.5 ~ 2.0米，粒径大于等于0.5微米的尘粒数不得超过一个点。水平层流测量点仅布置在一清洁工作区。

(3)可在5个测量点测量湍流，清洁面积小于或等于50平方米。每增加20-50平方米，无尘电子厂房净化施工，增加3-5个测量点。

净化车间空气洁净度检测一般在清洁空调系统完成，清洁空调系统正常运行，且不需要工艺设备和生产人员的情况下在室内进行。选择清洁工作区工作位置代表性测量点的气流逆风方向。值得注意的是，无尘电子厂房净化设计，在测试仪器稳定运行的情况下，每个测量点的数据排序应连续采样三次，平均值应为该点的测量值。

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